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浙江青處光電科技有限公司帶你了解

2021-12-03 03:06:17

浙江青處光電科技有限公司帶你了解,改進思路:消除灰塵源。

改善對策:

1.清潔車間的工作環境改造嚴格按照清潔車間的規范進行。

2.盡量做好環境衛生工作。盡量使用干凈的工作臺。

3.真空室周期清潔,保持清潔。

膜外白霧

現象:涂層完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合物擦拭,越嚴重??梢圆恋艋驕p少用氧化鋯粉擦拭(也稱:可擦拭壓克)

分析:膜外白霧的原因比較復雜,可能的原因有:

①膜結構問題:外膜柱狀結構松散,外膜過粗糙;

②蒸發角過大,膜結構粗糙。

③.溫差:鏡片出罩時內外溫差過大。

④水分;鏡片出罩后放置環境水分。

⑤真空室Polycold解凍時水蒸氣過重。

⑥蒸鍍充氧不完全,膜結構不均勻。

⑦膜與膜之間的應力。

改進思路:膜外白霧的原因很多,但各有特點,盡量對癥下藥。主要思路是薄膜致密光滑,不易吸附,二是改善環境,減少吸附對象。

改善對策:

1.改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)

2.降低鏡片溫度(延長真空室冷卻時間),降低溫差,降低應力。

3.改善充氧(增加)和膜結構。

4.適當降低蒸發速率,改善柱狀結構。

5.離子輔助涂層,改善膜結構。

6.加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水蒸氣)

7.想辦法從蒸發源和夾具上改善蒸發角。

8.改善基板表面粗糙度。

9.注意polycold解凍時的真空度。

膜內白霧

膜內形成白霧,不能通過擦拭去除。

可能的原因:

(1).基片臟,附著前工程殘留物。

②.鏡片表面腐蝕污染。

③膜材料與膜材料之間的不匹配。

④.氧化物充氧不足。

⑤.一層氧化鋯膜可能會對某些基板造成白暈。

⑥.基片進罩前(洗凈后)受潮污染。

⑦.清洗或擦拭不良,清洗痕跡,擦拭痕跡。

⑧真空室臟,水氣過重。

⑨.環境濕度高。

浙江青處光電科技有限公司

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