光學鍍膜鏡片，杜絕灰塵源改善對策：
1、工作環(huán)境改造潔凈車間，嚴格按潔凈車間規(guī)范實施。
2、盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。
3、 真空室周期打掃，保持清潔。
02
膜外白霧
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）
分析：膜外白霧的成因較為復(fù)雜，可能的成因有：
①、膜結(jié)構(gòu)問題：外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散，外層膜太粗糙；
②、蒸發(fā)角過大，膜結(jié)構(gòu)粗糙。
③、溫差：鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大
④、潮氣；鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣
⑤、真空室內(nèi)Polycold解凍時水汽過重
⑥、蒸鍍中充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻
⑦、膜與膜之間的應(yīng)力
改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環(huán)境減少吸附的對象。
改善對策：
1、改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境（干燥、清潔）
2、降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應(yīng)力。
3、改善充氧（加大），改善膜結(jié)構(gòu)。
4、適當降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結(jié)構(gòu)
5、離子輔助鍍膜，改善膜結(jié)構(gòu)
6、加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）
7、從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。
8、改善基片表面粗糙度。
9、注意polycold解凍時的真空度。
